金融界2025年5月12日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺任务分配方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119965115A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明提供了一种工艺任务分配方法及半导体工艺设备，涉及半导体技术领域，该工艺任务分配方法包括：接收工艺加工任务，获取工艺加工任务对应的晶圆盒中的待加工晶圆数量，判断待加工晶圆数量是否小于第一预设数量；如果是，获取半导体工艺设备中当前未分配工艺加工任务的空闲腔室，将工艺加工任务分配至其中一台目标空闲腔室；控制目标空闲腔室进行工艺配方暖机，并控制目标空闲腔室依次对晶圆盒中的待加工晶圆进行加工。本发明能够避免待加工晶圆较少时腔室多次执行工艺配方暖机任务而造成假片资源浪费，节约了材料成本，还可以减少腔室的无效占用，提高了腔室利用率及生产效率。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1036次，财产线索方面有商标信息62条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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